干涉仪工作原理基于光学干涉现象,通过测量和分析光波干涉的条纹图案来检测物体表面形貌。ZYGO干涉仪是其中一种,其利用精密光学元件和先进计算机技术,实现高精度测量。其核心工作原理是光的干涉与计算机处理技术的结合。...